产品中心
  产品搜索
(搜索您想要的产品!)
  联系我们

    电 话:0752-2123518
    传 真:
    0752-2127518
    业务部:13421663186李先生
    Q  Q: 81208555
    业务部:13433496488酒先生
    技术部:18003063068李先生
    Q  Q:3139057056
    邮  箱:mingshenghz@sina.com
    主  页:http://www.hzmszk.com
    地  址:惠州市东江工业区
    河南郑州分公司:
    电  话:18530091020
    联系人:朱淮江
    Q  Q:849666789
    地  址:河南省 郑州市 郑东新区 6号院6号楼4单元1楼38号

  英国爱德华真空泵
爱德华罗茨泵EH系列
     详细描述:

爱德华真空泵/EDWARDS真空泵/爱德华罗茨真空泵

EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为0.0110 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

应用

·                                半导体制程

·                                真空蒸馏

·                                真空包装

·                                钢脱气

·                                薄膜覆层

·                                真空冶金

·                                低密度风洞

·                                空间模拟

·                                真空浸渍

·                                油干燥和脱气

·                                制药冷冻干燥

·                                CO2激光

功能和优势

·                                适用于在0.0150 mbar/0.007537.5 Torr的压力范围下、需要超过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。

·                                它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

·                                EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:

·                                                       o   安静的无振动运行。

·                                                       o   牢靠且防腐蚀。

·                                                       o   先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染

·                                防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

·                                经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。

·                                轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

·                                动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

 

技术数据

 型号

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容积)

310 m3h-1/ 185 ft3min-1

505 m3h-1/ 300 ft3min-1

1195 m3h-1/ 715 ft3min-1

2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1

4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

240 m3h-1/ 141 ft3min-1

350 m3h-1/ 206 ft3min-1

840 m3h-1/ 495 ft3min-1

1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1

3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1

泵的压力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口连接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

转速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV80E1M/E2M40E1M/E2M80

GV80E2M80

GV160GV250
E2M80
E2M175

GV250GV400
E2M175
E2M275

GV400E2M275

电机功率

 

 

 

 

 

碳氢化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW