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  英国爱德华真空泵
Edwards_EH1200_2爱德华真空泵
     详细描述:

 EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。

爱德华真空泵EH系列被广泛应用于半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
爱德华真空泵EH系列功能和优势
1.适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
2.它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
3.EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
4.安静的无振动运行。
5.牢靠且防腐蚀。
6.先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
7.防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
8.经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。
9.轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
10.动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

 

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容积)

1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

使用前级泵时的有效抽速

840 m3h-1 / 495 ft3min-1

1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

泵的压力差

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO160

ISO160

ISO250

出口连接

ISO100

ISO100

ISO100

转速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口压力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV160、GV250、
E2M80、E2M175

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

GV400、E2M275

电机功率

     

碳氢化合物

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

4 hp

15 hp

15 hp

环境温度范围

     

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

5 至 40°C/40 至 104°F

存储

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

-10 至 80°C/14 至 176°F

最大工作湿度

90% RH

90% RH

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

油容量

     

齿轮箱

1.25 l/1.3 qt

3.5 l/3.3 qt

3.5 l/3.3 qt

联轴器盖

1.5 l/1.6 qt

6.5 l/7 qt

6.5 l/7 qt

轴封储油器

0.125 l/0.25 qt

1.5 l/1.4 qt

1.5 l/1.4 qt

重量

74 kg/163 lb

308 kg/679 lb